儀器特點

自主研發的軟件、電控及探測系統，具有更好的適配性

優化設計的主體結構和溫度場分布，具有更好的精度穩定性和測量速度

經典的移動橋式設計，結構簡單、緊湊、敞開性好、運動速度快，提供高效率、高精度的測量

采用獨特的矩形橫梁結構，增加結構的剛性，保證機器快速、平穩、精確

三軸采用高分辨率光柵尺，保證了良好的精度

三軸采用伺服電機驅動，并且電機安裝在各軸的遠端，有效的規避了電機工作產生的熱量對測量機局部溫度的影響