套刻（Overlay）

套刻對準是將工藝上下層對準的過程，套刻誤差定義為兩層之間的偏移。套刻誤差測量通常是指對兩層不同材料的不同套刻標記，通過圖像、算法處理獲得兩層之間偏移值的過程。

針對測量套刻誤差，天準半導體測量設備支持測量Box-in-Box、Frame-in-Frame、L-Bars、Circle-in-Circle、Cross-in-Cross或定制開發其他的結構。

關鍵尺寸（CD）

光學測量是一種非接觸式、非破壞性的測量技術，精確且快速，可通過CCD圖像提取結構強度信息來計算寬度。強度圖必須要進行額外處理，以使其免受噪聲或變形的干擾。

天準半導體測量設備已具備消除這類干擾的功能，對低于0.7μm的特征結構，系統支持使用UV光測量。

膜厚（Film Thickness）

測量設備擁有定期自動校準功能，支持測量透明和半透明的介質膜，最多可測量三層膜。